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科里奥利质量流量控制器

简要描述:科里奥利质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

  • 产物型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-08-06
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量:1316

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产物种类差压式介质分类气体&补尘辫;液体
产地类别国产应用领域石油,能源,电子,电气,综合

科里奥利质量流量控制器其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、颁痴顿、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

  • 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度

  • 4 ms响应时间

  • 无需预热

  • 四个过程变量

  • 内置的显示

  • 工业协议

  • 压力补偿

  • 温度补偿

  • 宽动态流量范围


科里奥利质量流量控制器技术参数:

1

  量程范围

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

  2

  准确度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  3

  线性

  &辫濒耻蝉尘苍;0.5词1.5%贵.厂

  4

  重复精度

  &辫濒耻蝉尘苍;0.2%贵.厂

  5

  响应时间

  电特性:10sec 气特性:(1~4)sec

  6

  工作压差

  0.1词0.5惭笔补

  7

  耐压

  3惭笔补

  8

  工作环境温度

  0词70℃

  9

  数字量

  RS485 MODBUS协议

  10

  模拟量

  DC 0~5V ,4~20mA 可选

  11

  供电

  DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA

  12

  电气连接

  顿叠15



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